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退火机操作规程

退火机操作规程

  • 分类:行业动态
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  • 发布时间:2021-07-31
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【概要描述】 退火机是一种用于制造半导体器件的工艺,包括加热多个半导体晶片以影响它们的电性能。热处理是为不同的效果而设计的。晶片可以被加热以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或晶片衬底界面,密集沉积薄膜,改变生长薄膜的状态,修复注入的损伤,将掺杂剂从一个薄膜移动或转移到另一个薄膜,或者从薄膜进入晶片衬底。退火机的操作规则是什么?

退火机操作规程

【概要描述】 退火机是一种用于制造半导体器件的工艺,包括加热多个半导体晶片以影响它们的电性能。热处理是为不同的效果而设计的。晶片可以被加热以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或晶片衬底界面,密集沉积薄膜,改变生长薄膜的状态,修复注入的损伤,将掺杂剂从一个薄膜移动或转移到另一个薄膜,或者从薄膜进入晶片衬底。退火机的操作规则是什么?

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        退火机是一种用于制造半导体器件的工艺,包括加热多个半导体晶片以影响它们的电性能。热处理是为不同的效果而设计的。晶片可以被加热以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或晶片衬底界面,密集沉积薄膜,改变生长薄膜的状态,修复注入的损伤,将掺杂剂从一个薄膜移动或转移到另一个薄膜,或者从薄膜进入晶片衬底。退火机的操作规则是什么?

退火机操作规程

退火机操作程序:

一、装退火机前的检查和准备

1.检查冷却循环水系统是否正常,进、回水门是否打开。流经循环风机和炉门的冷却水是否畅通、有无泄漏,冷却水压力是否达到0.1 ~ 0.3 MP,水温是否低于25℃,水量是否合适。

2.检查风压系统是否正常,管道是否泄漏,风压是否达到0.4 ~ 0.6 MP,炉门气缸工作是否正常。

3、检查退火机电气设备、仪表工作是否正常,热电偶是否完好,有无短路现象,测温是否准确。

4.检查退火机炉门升降机构是否正常工作,链条和钢丝绳是否损坏或断裂。炉门升降不应有卡阻或碰撞,机构必须灵活,炉门保险销能自由伸缩,上下行程开关能灵敏可靠地工作。

5.检查循环风机和吹风风机的轴承是否润滑良好,转动是否正常,有无噪音。

6.清除退火机炉子周围的障碍物和可燃物。清理炉膛、铝卷、小车和小车轨道中的铝屑和污垢。

二、退火机进炉操作规程

1.装退火机前,根据生产工艺卡的要求,认真核对合金 牌号、批号、规格、状态和卷或垛的重量,并按要求填写记录。

2.装载时,必须正确安装退火机。线圈基本上下左右对称,线圈之间的间隙基本相同。不允许超重、超长、超宽、超高。退火时,卷与垛之间的重量差应尽可能小(卷与卷之间的重量差小于1 T,垛与垛之间的重量差小于0.5T)。在特殊情况下,考虑到装炉的经济性,不同厚度和重量的成品可以在一个炉内退火,但温度必须分区控制。当有重量差异时,热电偶应插入小卷或堆叠中。

3.正确安装热电偶。热电偶的插入深度,线圈为25 ~ 30 mm,平板为≮50mm。其插入位置必须位于卷或堆的中心,要求插入牢固,无漏气或短路。

4.打开烤箱门。首先,松开炉门压紧装置,将炉门提升到上限位置,插入安全销。

5、入退火机过程。

(1)10T炉应先插入台车和材料车间的销子,然后启动台车,将箕斗推入炉膛,箕斗停在原位后拔出销子,最后将台车从炉膛停止在原来的位置。

(2)2)20T炉应接通卸料车电源,启动油泵电机,用升降机构将装有工件的料盘升至上限位置,然后将卸料车开入炉内至正确位置,将料盘放在炉内立柱上。料盘稳定后,将卸车车开出炉外,停在原位置,关闭油泵和卸车车电源。

6.关上烤箱门。车停稳后,拔出炉门保险销,将炉门降至下限位置,用气缸按压炉门。炉门压紧均匀,密封良好,无明显漏气现象。

7.放电过程的操作程序与充电过程相反。

三、退火机温度控制系统操作规程

1、应首先确认退火机门关闭密封完好,检查电气系统正常,方可操作。

2.逐个启动各个区域的轴流风机。

3.启动各区域循环风机,待电机电流稳定后再启动另一台风机,确保各区域风机稳定运行。

4.根据生产工艺卡的工艺要求,在温控智能表上输入工艺控制参数。

5.打开排气阀,启动鼓风机。(10T炉排气烟道无阀门)

6.打开退火机加热器的电源开关,按照规定的温度曲线进行控制退火。

7.退火机退火时要经常检查电器和机械的运行情况,如加热器、循环风机、轴承等。

8.退火机退火时注意各区域金属的温升,操作人员可根据具体情况(一般在10℃左右)在小范围内调节炉气温度,以保证各区域温度一致。

9.如果金属温度在规定时间内超过金属温度上限,可以适当冷却。如果没有达到金属温度的下限,可以延长保持时间,直到达到金属温度极限。

10.退火机退火后,依次停止加热器、轴流风机和吹风

风扇,循环风扇。打开烤箱门。

以上是对退火机操作程序常识的介绍。希望这些小知识能帮到你。

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