退火机操作规程
发布时间：
2021-07-31
退火机是一种用于制造半导体器件的工艺，包括加热多个半导体晶片以影响它们的电性能。热处理是为不同的效果而设计的。晶片可以被加热以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或晶片衬底界面，密集沉积薄膜，改变生长薄膜的状态，修复注入的损伤，将掺杂剂从一个薄膜移动或转移到另一个薄膜，或者从薄膜进入晶片衬底。退火机的操作规则是什么？
退火机是一种用于制造半导体器件的工艺，包括加热多个半导体晶片以影响它们的电性能。热处理是为不同的效果而设计的。晶片可以被加热以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或晶片衬底界面，密集沉积薄膜，改变生长薄膜的状态，修复注入的损伤，将掺杂剂从一个薄膜移动或转移到另一个薄膜，或者从薄膜进入晶片衬底。退火机的操作规则是什么？
退火机操作规程
退火机操作程序:
一、装退火机前的检查和准备
1.检查冷却循环水系统是否正常，进、回水门是否打开。流经循环风机和炉门的冷却水是否畅通、有无泄漏，冷却水压力是否达到0.1 ~ 0.3 MP，水温是否低于25℃，水量是否合适。
2.检查风压系统是否正常，管道是否泄漏，风压是否达到0.4 ~ 0.6 MP，炉门气缸工作是否正常。
3、检查退火机电气设备、仪表工作是否正常，热电偶是否完好，有无短路现象，测温是否准确。
4.检查退火机炉门升降机构是否正常工作，链条和钢丝绳是否损坏或断裂。炉门升降不应有卡阻或碰撞，机构必须灵活，炉门保险销能自由伸缩，上下行程开关能灵敏可靠地工作。
5.检查循环风机和吹风风机的轴承是否润滑良好，转动是否正常，有无噪音。
6.清除退火机炉子周围的障碍物和可燃物。清理炉膛、铝卷、小车和小车轨道中的铝屑和污垢。
二、退火机进炉操作规程
1.装退火机前，根据生产工艺卡的要求，认真核对合金 牌号、批号、规格、状态和卷或垛的重量，并按要求填写记录。
2.装载时，必须正确安装退火机。线圈基本上下左右对称，线圈之间的间隙基本相同。不允许超重、超长、超宽、超高。退火时，卷与垛之间的重量差应尽可能小（卷与卷之间的重量差小于1 T，垛与垛之间的重量差小于0.5T）。在特殊情况下，考虑到装炉的经济性，不同厚度和重量的成品可以在一个炉内退火，但温度必须分区控制。当有重量差异时，热电偶应插入小卷或堆叠中。
3.正确安装热电偶。热电偶的插入深度，线圈为25 ~ 30 mm，平板为≮50mm。其插入位置必须位于卷或堆的中心，要求插入牢固，无漏气或短路。
4.打开烤箱门。首先，松开炉门压紧装置，将炉门提升到上限位置，插入安全销。
5、入退火机过程。
（1）10T炉应先插入台车和材料车间的销子，然后启动台车，将箕斗推入炉膛，箕斗停在原位后拔出销子，最后将台车从炉膛停止在原来的位置。
（2）2）20T炉应接通卸料车电源，启动油泵电机，用升降机构将装有工件的料盘升至上限位置，然后将卸料车开入炉内至正确位置，将料盘放在炉内立柱上。料盘稳定后，将卸车车开出炉外，停在原位置，关闭油泵和卸车车电源。
6.关上烤箱门。车停稳后，拔出炉门保险销，将炉门降至下限位置，用气缸按压炉门。炉门压紧均匀，密封良好，无明显漏气现象。
7.放电过程的操作程序与充电过程相反。
三、退火机温度控制系统操作规程
1、应首先确认退火机门关闭密封完好，检查电气系统正常，方可操作。
2.逐个启动各个区域的轴流风机。
3.启动各区域循环风机，待电机电流稳定后再启动另一台风机，确保各区域风机稳定运行。
4.根据生产工艺卡的工艺要求，在温控智能表上输入工艺控制参数。
5.打开排气阀，启动鼓风机。（10T炉排气烟道无阀门）
6.打开退火机加热器的电源开关，按照规定的温度曲线进行控制退火。
7.退火机退火时要经常检查电器和机械的运行情况，如加热器、循环风机、轴承等。
8.退火机退火时注意各区域金属的温升，操作人员可根据具体情况（一般在10℃左右）在小范围内调节炉气温度，以保证各区域温度一致。
9.如果金属温度在规定时间内超过金属温度上限，可以适当冷却。如果没有达到金属温度的下限，可以延长保持时间，直到达到金属温度极限。
10.退火机退火后，依次停止加热器、轴流风机和吹风
风扇，循环风扇。打开烤箱门。
以上是对退火机操作程序常识的介绍。希望这些小知识能帮到你。
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